FUJIKIN 气体质量流量计（MFC）

供应气体质量流量计，主要品牌有美国BROOKS，日本Fujikin。气体质量流量计具有：较高精度、快速响应、性价比高、零漂低等特点。不仅满足半导体、微电子、玻璃镀膜、太阳能电池等行业，还可以满足钢厂、电厂、石化等行业的要求。

规格：

量程：10SCCM-500 SCCM，1SLM-50SLM

阀门种类：常闭

流量控制范围：2%-100%F.S.

流量精度：±1%F.S.

流量输出信号：0-5VDC

响应速度： ≦1sec

最大压力：1Mpa

接口方式：1/4”VCR， 1/4”卡套